熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的流量儀表。即利用流體流過發熱物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系。分為恒功率法和恒溫差法。傳感器部分由兩支基準級鈕電阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一個傳感器不間斷地測量介質溫度T1，另一個傳感器自加熱到高于介質溫度T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT＝T2-T1，T2＞T1，當有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走，使T2的溫度下降，ΔT越小，氣體流動速度越快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和ΔT大小存在線性的函數關系，這就是恒功率法原理。氣體流動速度越快，帶走的熱量也就越多，若使ΔT保持不變，就要提高T2的供電電流，增加功率，保持熱源RTD恒定溫度而增加的加熱功率大小與氣體流量大小存在線性的函數關系，這就是恒溫差法原理。

熱式氣體質量流量計每種形式都有整體、分體結構，根據測量管徑不同，有管道式、插入式兩種安裝方式，以適應不同的安裝環境。

● 氧氣、氮氣、氫氣、氯氣及多組分氣體測量。

● 高爐煤氣、焦爐煤氣測量。

● 煙道氣測量。

● 沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測量。

● 壓縮空氣測量。

● 天然氣，液化氣，火炬氣，等氣體流量測量

● 電廠高爐的一次風、二次風流量測量

● 礦井下通風或排風系統流量測量

●燃氣過程中空氣流量測量

●煙囪排出的煙氣流量（速）測量（CEMS）

●煅燒爐煙道氣流量測量

●水泥、卷煙、玻璃廠生產過程中氣體流量測量

●溶劑回收系統中氣體流量測量

●半導體芯片制作過程中氣體流量測量

●啤酒生產過程中二氧化碳氣體流量測量

●加熱通風和空調系統中的氣體流量（速）測量

●燃煤鍋爐中燃燒氣體流量測量

●礦井下通風或排風系統中流量（速）實時檢測